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晶体硅的非平衡银掺杂及其光电探测器

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晶体硅的非平衡银掺杂及其光电探测器
论文目录
 
摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第一章 绪论第12-16页
  1.1 研究背景与意义第12-14页
  1.2 研究目的与内容第14页
  1.3 本论文结构安排第14-16页
第二章 文献综述第16-48页
  2.1 引言第16-19页
    2.1.1 硅基光电应用第16-18页
    2.1.2 超短脉冲激光器的发展历史第18-19页
  2.2 飞秒激光与硅的相互作用第19-35页
    2.2.1 飞秒激光与硅相互作用的物理机制第19-25页
    2.2.2 飞秒激光加工与纳秒激光加工的对比第25-26页
    2.2.3 飞秒激光非平衡掺杂第26-31页
    2.2.4 飞秒激光刻蚀第31-35页
  2.3 非平衡掺杂硅材料的研究进展第35-46页
    2.3.1 中间带的表征第35-36页
    2.3.2 载流子寿命、迁移率以及光吸收系数的测试第36-38页
    2.3.3 次带隙吸收的退火失活效应第38-39页
    2.3.4 次带隙光电响应第39-42页
    2.3.5 飞秒激光掺杂的工艺控制第42-45页
    2.3.6 如何寻找合适的非平衡掺杂剂第45-46页
  2.4 存在的主要问题第46-48页
第三章 实验样品和研究方法第48-58页
  3.1 银非平衡掺杂硅的制备过程第48-49页
    3.1.1 硅片的清洗第48页
    3.1.2 前驱层的制备第48-49页
    3.1.3 飞秒激光掺杂第49页
  3.2 Si:Ag光电探测器的制备过程第49-50页
  3.3 表征测试方法第50-58页
    3.3.1 深能级瞬态谱第51-53页
    3.3.2 二次离子质谱第53-54页
    3.3.3 霍尔效应测试仪第54页
    3.3.4 少子寿命测试仪第54页
    3.3.5 拉曼光谱第54-55页
    3.3.6 光电探测器的性能指标及测试第55-58页
第四章 银非平衡掺杂硅的光吸收性质及缺陷态研究第58-76页
  4.1 引言第58-59页
  4.2 实验第59-61页
  4.3 实验结果与讨论第61-73页
    4.3.1 Si:Ag样品的结构及表面形貌第61-64页
    4.3.2 Si:Ag样品的光学性质第64-66页
    4.3.3 次带隙吸收随退火条件的变化第66-69页
    4.3.4 Si:Ag样品中的缺陷能级第69-73页
  4.4 本章小结第73-76页
第五章 缺陷态辅助响应增益的Si:Ag光电探测器第76-100页
  5.1 引言第76-77页
  5.2 实验第77-79页
  5.3 实验结果与讨论第79-98页
    5.3.1 Si:Ag样品的结构及光吸收性质第79-83页
    5.3.2 Si:Ag光电探测器中的光电导增益第83-85页
    5.3.3 Si:Ag中的杂质缺陷第85-89页
    5.3.4 Si:Ag光电探测器的工作原理第89-91页
    5.3.5 Si:Ag光电探测器的性能第91-95页
    5.3.6 氧化铝钝化对Si:Ag光电探测器性能的影响第95-98页
  5.4 本章小结第98-100页
第六章 具有短波截止特性的近红外Si:Ag光电探测器第100-122页
  6.1 引言第100-102页
  6.2 实验第102-103页
  6.3 实验结果与讨论第103-120页
    6.3.1 Si:Ag样品的次带隙吸收特性第103-107页
    6.3.2 Si:Ag探测器的光电响应特性第107-110页
    6.3.3 Si:Ag样品的表面缺陷及体缺陷第110-114页
    6.3.4 Si:Ag光电探测器短波截止的机理第114-118页
    6.3.5 Si:Ag光电探测器近红外光电响应的机理第118-119页
    6.3.6 Si:Ag光电探测器的性能第119-120页
  6.4 本章小结第120-122页
第七章 Si:Ag/Gr光电导型探测器的性能研究第122-134页
  7.1 引言第122-123页
  7.2 实验第123-124页
  7.3 实验结果与讨论第124-131页
    7.3.1 Si:Ag/Gr光电导探测器的光电响应性能第124-129页
    7.3.2 Pt NPs对器件光电响应的影响第129-131页
  7.4 本章小结第131-134页
第八章 总结第134-136页
  8.1 结论第134-135页
  8.2 展望第135-136页
参考文献第136-154页
致谢第154-156页
个人简介第156-158页
攻读学位期间发表的学术论文及其它研究成果第158页

本篇论文共158页,点击这进入下载页面
 
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