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基于锁相调制技术的电容式微机械陀螺工艺实现及检测系统研究

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基于锁相调制技术的电容式微机械陀螺工艺实现及检测系统研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-10页
第一章 绪论第10-26页
  1.1 微机械陀螺介绍第10-18页
    1.1.1 微机械陀螺发展历程及分类第10-16页
    1.1.2 微机械陀螺关键性能指标及应用第16-18页
  1.2 微机械陀螺控制系统研究现状第18-24页
    1.2.1 国外控制系统研究现状第18-21页
    1.2.2 国内控制系统研究现状第21-23页
    1.2.3 控制系统研究现状总结第23-24页
  1.3 论文主要研究内容及结构安排第24-26页
第二章 微机械陀螺理论分析第26-38页
  2.1 微机械陀螺工作原理第26-30页
    2.1.1 科氏(Coriolis)效应第26-27页
    2.1.2 微机械振动陀螺动力学基础第27-30页
  2.2 微机械陀螺驱动检测模态分析第30-34页
    2.2.1 静电驱动原理第30-33页
    2.2.2 电容检测原理第33-34页
  2.3 微机械陀螺结构模型第34-37页
    2.3.1 微机械陀螺结构第34-35页
    2.3.2 微机械陀螺系统级模型第35-37页
  2.4 本章小结第37-38页
第三章 微机械陀螺制备工艺研究第38-62页
  3.1 真空封装陀螺制备方案设计第38-40页
    3.1.1 制备方案主要问题讨论第38-39页
    3.1.2 陀螺整体工艺路线第39-40页
  3.2 湿法腐蚀方案工艺流程总结第40-59页
    3.2.1 玻璃腐蚀工艺第41-45页
    3.2.2 第一次阳极键合第45-46页
    3.2.3 SOG组合片湿法腐蚀减薄第46-48页
    3.2.4 硅面化学机械抛光第48-53页
    3.2.5 ICP刻蚀第53-57页
    3.2.6 三层阳极键合工艺第57-58页
    3.2.7 孔内金属化第58-59页
  3.3 本章小结第59-62页
第四章 陀螺控制环路理论分析及仿真验证第62-82页
  4.1 闭环驱动控制技术分析第62-69页
    4.1.1 闭环驱动控制理论分析第62-66页
    4.1.2 AGC-PLL环路仿真优化第66-69页
  4.2 力再平衡闭环检测环路分析第69-74页
    4.2.1 力再平衡闭环检测控制第69-73页
    4.2.2 力再平衡闭环检测仿真验证第73-74页
  4.3 模态匹配控制技术分析第74-77页
    4.3.1 模态匹配控制理论分析第74-76页
    4.3.2 模态匹配仿真验证第76-77页
  4.4 高频载波信号调制第77-80页
  4.5 本章小结第80-82页
第五章 微机械陀螺测试及数据分析第82-98页
  5.1 陀螺控制系统开发环境第82-85页
    5.1.1 HF2LI锁相放大器功能及原理第82-84页
    5.1.2 HF2TA电流放大器第84-85页
  5.2 闭环驱动系统搭建及测试第85-90页
    5.2.1 基于HF2LI的闭环驱动系统搭建第85-86页
    5.2.2 闭环驱动系统测试第86-90页
  5.3 检测模态系统搭建及测试第90-93页
    5.3.1 开环检测系统第90-92页
    5.3.2 力再平衡闭环检测模态第92-93页
  5.4 载波调制第93-94页
  5.5 陀螺主要性能指标测试第94-96页
    5.5.1 标度因数(灵敏度)测试第94-95页
    5.5.2 零偏稳定性测试第95页
    5.5.3 温度零偏稳定性测试第95-96页
  5.6 本章小结第96-98页
第六章 总结与展望第98-100页
  6.1 全文总结第98-99页
  6.2 展望第99-100页
致谢第100-102页
参考文献第102-108页
攻读学位期间发表论文与研究成果第108页

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