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纳米定位与扫描平台模型辨识与控制算法研究

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纳米定位与扫描平台模型辨识与控制算法研究
论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-11页
第一章 绪论第11-17页
  1.1 课题研究背景及意义第11-12页
  1.2 纳米定位与扫描平台的国内外发展现状第12-13页
  1.3 纳米定位与扫描平台控制技术的发展现状第13-14页
  1.4 本文主要研究的内容以及结构安排第14-17页
第二章 纳米定位与扫描平台的模型建立第17-27页
  2.1 纳米定位与扫描平台的结构及特性第17-20页
    2.1.1 纳米定位与扫描平台的基本组成第17-19页
    2.1.2 纳米定位与扫描平台的特性第19-20页
  2.2 纳米定位与扫描平台的建模方法第20-21页
    2.2.1 机理分析法数学建模第20-21页
    2.2.2 测试法数学建模第21页
    2.2.3 机理分析和测试法相结合的建模第21页
  2.3 纳米定位与扫描平台的模型建立第21-25页
    2.3.1 Bouc-Wen模型简介第22页
    2.3.2 纳米定位与扫描平台的模型建立第22-24页
    2.3.3 Bouc-Wen模型中各参数的主要特性第24页
    2.3.4 纳米定位与扫描平台模型的非对称改进第24-25页
  2.4 本章小结第25-27页
第三章 纳米定位与扫描平台模型参数辨识第27-39页
  3.1 引言第27-30页
    3.1.1 辨识简介第27页
    3.1.2 辨识原理第27-28页
    3.1.3 模型辨识误差准则第28-29页
    3.1.4 模型辨识的主要步骤第29-30页
  3.2 最小二乘法的基本原理第30-32页
  3.3 纳米定位与扫描平台模型参数辨识第32-34页
    3.3.1 模型参数辨识方法简介第32-33页
    3.3.2 纳米定位与扫描平台模型参数辨识第33-34页
  3.4 模型参数对纳米定位与扫描平台模型的影响第34-37页
  3.5 本章小结第37-39页
第四章 纳米定位与扫描平台控制方法的研究第39-55页
  4.1 纳米定位与扫描平台的控制方法第39-40页
    4.1.1 开环控制第39-40页
    4.1.2 闭环控制第40页
  4.2 常用的PID控制系统第40页
  4.3 PID控制算法的研究第40-48页
    4.3.1 PID控制算法原理第41-43页
    4.3.2 数字PID控制算法研究第43-44页
    4.3.3 PID控制算法的优化第44-47页
    4.3.4 PID控制器参数的整定第47-48页
  4.4 纳米定位与扫描平台PID控制系统仿真第48-49页
  4.5 纳米定位与扫描平台的迟滞补偿和PI反馈的复合控制第49-53页
    4.5.1 纳米定位与扫描平台的迟滞前馈补偿控制第50-51页
    4.5.2 PI控制第51-52页
    4.5.3 纳米定位与扫描平台的复合控制第52-53页
  4.6 本章小结第53-55页
第五章 实验结果与数据分析第55-65页
  5.1 纳米定位与扫描平台控制算法仿真第55-61页
  5.2 纳米定位与扫描平台Bouc-Wen模型实验仿真第61-64页
  5.3 本章小结第64-65页
第六章 结论第65-67页
  6.1 论文结论第65-66页
  6.2 后期展望第66-67页
参考文献第67-71页
作者简介第71页
作者在攻读硕士学位期间发表的学术论文第71-73页
致谢第73页

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纳米定位与扫描平台 Bouc-wen模型 最小二乘法 PID控制算法
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