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射频等离子体源的研发

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射频等离子体源的研发
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-19页
  1.1 课题研究背景第10-11页
  1.2 等离子体辅助分子束外延技术第11-13页
  1.3 等离子体源国内外研究现状及发展趋势第13-17页
    1.3.1 国内外研究现状第13-16页
    1.3.2 发展趋势第16-17页
  1.4 本文研究意义及主要内容第17-19页
    1.4.1 研究意义第17页
    1.4.2 主要内容第17-19页
第二章 射频等离子体源总体方案研究第19-28页
  2.1 射频等离子体源工作原理第19-24页
    2.1.1 电感耦合放电第19-21页
    2.1.2 气体高频放电类型第21-22页
    2.1.3 气体击穿判据第22-23页
    2.1.4 射频等离子体源工作过程第23页
    2.1.5 射频匹配网络第23-24页
  2.2 射频等离子体源总体设计方案第24-26页
  2.3 射频等离子体源选材分析第26-27页
    2.3.1 选材要求第26页
    2.3.2 各个零部件选材分析第26-27页
本章小结第27-28页
第三章 射频等离子体源模拟设计第28-37页
  3.1 模拟软件介绍第28页
  3.2 初步模型建立第28-30页
  3.3 模拟仿真计算第30-36页
    3.3.1 模拟结果及分析第31-32页
    3.3.2 电感线圈匝数对等离子体参数分布的影响第32-34页
    3.3.3 真空放电室尺寸对等离子体参数分布的影响第34-36页
本章小结第36-37页
第四章 射频等离子体源结构设计第37-53页
  4.1 等离子体产生与发射装置第37-41页
    4.1.1 真空放电室第37-38页
    4.1.2 电感线圈第38页
    4.1.3 电源连接组件第38-41页
  4.2 反应源气体导入装置第41-43页
    4.2.1 三通第41-42页
    4.2.2 双层管组件第42-43页
    4.2.3 密封组件第43页
  4.3 冷却水循环装置第43-44页
    4.3.1 冷却水管选型第43-44页
    4.3.2 冷却水管设计第44页
  4.4 其他装置第44-47页
    4.4.1 支撑装置第44-46页
    4.4.2 屏蔽装置第46页
    4.4.3 观察装置第46-47页
    4.4.4 腔体连接装置第47页
  4.5 装配前处理第47-50页
    4.5.1 污染物形式第48页
    4.5.2 清洁方法第48-50页
  4.6 射频等离子体源装配第50-52页
    4.6.1 真空零部件组装要求第50页
    4.6.2 整体结构组成第50-52页
本章小结第52-53页
第五章 射频等离子体源性能测试第53-63页
  5.1 测试平台搭建第53-58页
    5.1.1 真空系统第53-55页
    5.1.2 射频电源及其匹配器第55-56页
    5.1.3 冷却水循环系统第56-57页
    5.1.4 气路系统第57-58页
  5.2 射频等离子体源性能测试第58-61页
    5.2.1 射频等离子体源连接第58-59页
    5.2.2 真空准备第59-60页
    5.2.3 测试过程第60-61页
    5.2.4 测试结束第61页
  5.3 测试结果及分析第61-62页
本章小结第62-63页
全文总结第63-65页
参考文献第65-67页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第67-68页
致谢第68页

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